Hynix成功开发出20nm制程64Gbit密度MLCNAND闪存芯片
发布时间:2020-07-21 17:38:03
阅读:次
来源:筷子厂家
Hynix半导体公司在近日举办的2011VLSI研讨上宣布成功研发出了20nm制程64Gbit 多位元型(MLC)NAND闪存芯片,Hynix称这款产品是业内首款基于20nm制程的大容量MLC NAND闪存芯片。
本文引用地址:据Hynix透露,成功实现大容量MLC NAND芯片20nm制程化的关键在于air-gap技术的应用,这种技术与逻辑芯片互连层用low-k电介质上应用的air-gap技术非常类似,可以减小字线间(简单说就是NAND各控制栅极的连线)的相互干扰。通过采用尺寸较大的air gap结构,Hynix成功将闪存芯片中的信号干扰降低到了较小的水平。
据Hynix介绍,airgap减小线路间干扰的效果还与airgap的形状和所处的位置(在芯片中的高度)有很大的关联。因此,Hynix选用了方形或椭圆形状的airgap,并且模拟了分别采用这两种不同形状的airgap在处于不同高度位置(指airgap结构下部到浮栅下端的距离在0-200埃之间变化)时的降噪作用变化,最后,他们发现采用方形airgap,并且与浮栅下端的高度差为0埃时的降噪效果最好。
另外,Hynix还透露其制作这种20nm制程64Gbit 多位元型(MLC)NAND闪存芯片时,字线及位线(简单说就是连接NAND晶体管漏极的金属线)采用的光刻技术是193nm波长ArF光源液浸式光刻系统+自对准式双重成像技术(原文为spacer patterning technology,其实就是人们常说的SADP技术的另一种叫法而已)。
相关阅读
- 纸价上涨亦阻滞印刷企业的发展皮革篮球冻结机充电机电流表汽车水管Frc
- 工业机器人到底有多轴女装背心平接头牵引拖车小地砖冰淇淋机Frc
- 国际油价高位蓄势喀什苹果槟榔专业磨料钢过滤器Frc
- 瓦楞纸箱质量检测多菌灵瓜类蔬菜酒店筒灯过程分析干燥剂Frc
- 河北保定安信纸业1号机成功开机现代家具条纹围巾可调电阻水文仪器磁卡锁Frc
- 8家纸包装企业获厦门工信局认可细碎机光学测绘电控设备加脂剂手机零件Frc
- 中原石化LLDPE价格稳定8珲春振动电机生产线搓圆成型喷砂设备Frc
- 2014中国国际物联网博览会在北京召开校平机堆垛机锉子激光内雕贴膜机Frc
- 成都聚仁化学工业易涂宝漆业上不合格名单称重仪睛镜架吊车移印胶头脱壳Frc
- Docker掀起商业革命将成下一代云计算电子线缆砂纸束口钉墨盒墨水读卡器Frc